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晶圆化学镀设备专用泵
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2024-02-24 13:54

Debem气动隔膜泵在晶圆化学镀设备上有广泛的应用。晶圆化学镀是半导体制造过程中的关键步骤之一，用于在晶圆表面形成薄膜层。

气动隔膜泵作为一种常用的输送泵，具有以下特点，适合在晶圆化学镀设备中使用：

高精度输送：气动隔膜泵能够提供精确的流量控制，确保化学镀液以准确的速率输送到晶圆表面。这对于薄膜的均匀性和厚度控制非常重要。

耐腐蚀性：晶圆化学镀涉及使用各种腐蚀性化学品，如酸、碱等。气动隔膜泵通常采用耐腐蚀材料制造，例如聚四氟乙烯（PTFE）或不锈钢等，能够在腐蚀性环境下长期稳定运行。

如有任何关于泵的选型或使用上的问题，欢迎致电服务热线：0512-62809108，埃立特20年致力于特殊流体一站式解决方案，提供欧美进口高品质泵，为500家客户提供专业服务。

自吸能力：气动隔膜泵具有良好的自吸能力，能够从低液位吸取液体，无需额外的吸入装置。这对于晶圆化学镀设备的操作和维护非常方便。

无泄漏：气动隔膜泵采用双隔膜结构，能够有效地防止泵内液体泄漏到外部环境，确保工作场所的清洁和安全。

适应性强：气动隔膜泵能够适应不同的流体性质和工艺要求，如不同浓度的化学品、不同粘度的溶液等。同时，它还可以逆向运转，用于清洗和排放液体。

综上所述，气动隔膜泵在晶圆化学镀设备上的应用能够提供稳定、精确、安全的化学品输送，满足晶圆薄膜制备过程的要求。